3nm/5nm 공정 (3nm/5nm Process) 반도체 칩을 제조하는 기술 공정으로, 숫자가 작을수록 더 미세하고 집적도가 높아 성능이 향상됨 용례 "TSMC는 3nm 및 5nm 공정 기술을 통해 고성능 AI 칩을 생산하고 있습니다." - TSMC, AI 수요 폭발에 따른 목표 주가 상향 및 52주 최고가 경신