회절 한계

빛이 파동의 성질을 가질 때 나타나는 현상으로, 빛의 파장보다 작은 물체를 구별하는 데 어려움이 있습니다. 반도체 제조에서는 회절 한계 때문에 회로 패턴을 계속해서 미세화하는 데 어려움이 있습니다