헬륨 원자 빔
빛 대신 헬륨 원자를 사용하여 회로 패턴을 새기는 기술입니다. 원자는 파동성이 없어 회절 한계가 없으므로, 기존 기술보다 훨씬 미세한 패턴을 구현할 수 있습니다
용례
"레이스 리소그래피는 헬륨 원자 빔을 사용하여 10배 더 작은 해상도를 달성하며, 비용과 에너지 소비를 획기적으로 줄입니다."
빛 대신 헬륨 원자를 사용하여 회로 패턴을 새기는 기술입니다. 원자는 파동성이 없어 회절 한계가 없으므로, 기존 기술보다 훨씬 미세한 패턴을 구현할 수 있습니다
"레이스 리소그래피는 헬륨 원자 빔을 사용하여 10배 더 작은 해상도를 달성하며, 비용과 에너지 소비를 획기적으로 줄입니다."