정전 척 (Electrostatic Chuck)

반도체 웨이퍼를 진공 상태에서 안정적으로 고정하는 데 사용되는 부품

용례

"토토의 첨단 세라믹 기술은 정전 척의 성능을 향상시켜 3D 낸드 플래시 메모리 생산 효율성을 높입니다."