Yield (수율) 투입한 전체 웨이퍼 대비 결함 없는 합격품이 나오는 비율로, 반도체 제조사의 수익성과 직결되는 핵심 지표임 용례 "멀티 패터닝을 통해 7nm까지 도달할 수 있지만 오버레이 오류와 수율 저하라는 비용이 발생한다." - 중국의 국산 immersion DUV 노광장비 양산 및 ASML 시장 영향