Multipatterning (멀티 패터닝)
한 번의 노광으로 구현하기 어려운 미세 회로를 여러 번 나누어 그려 해상도를 높이는 기법이나, 비용 증가와 수율 저하의 단점이 있음
용례
"고객들이 멀티 패터닝을 더 저렴한 단일 노광 극자외선 방식으로 교체함에 따라 DRAM 노광 집약도가 상승하고 있다."
한 번의 노광으로 구현하기 어려운 미세 회로를 여러 번 나누어 그려 해상도를 높이는 기법이나, 비용 증가와 수율 저하의 단점이 있음
"고객들이 멀티 패터닝을 더 저렴한 단일 노광 극자외선 방식으로 교체함에 따라 DRAM 노광 집약도가 상승하고 있다."