Immersion DUV (액침 심자외선)
렌즈와 웨이퍼 사이에 물을 채워 해상도를 높이는 노광 기술로, 28nm 공정 단일 노광 및 7nm 멀티 패터닝 구현이 가능함
용례
"중국의 한 국가 지원 기업이 액침 심자외선 노광장비의 양산을 시작했으며 올해 SMIC, Hua Hong, CXMT에 첫 제품을 인도할 예정이다."
렌즈와 웨이퍼 사이에 물을 채워 해상도를 높이는 노광 기술로, 28nm 공정 단일 노광 및 7nm 멀티 패터닝 구현이 가능함
"중국의 한 국가 지원 기업이 액침 심자외선 노광장비의 양산을 시작했으며 올해 SMIC, Hua Hong, CXMT에 첫 제품을 인도할 예정이다."