EUV/DUV

반도체 초미세 공정에 필수적인 극자외선 및 심자외선 노광 장비

용례

"미국이 반도체 제조에 필요한 극자외선(EUV) 노광 장비의 수출을 제한하고 올해 심자외선(DUV) 장비의 수출까지 전면 금지하는 방안을 검토 중임."