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EUV (Extreme Ultraviolet, 극자외선)

DUV보다 훨씬 짧은 파장을 사용하여 더 미세한 회로를 그리는 차세대 노광 기술로, 현재 ASML이 전 세계 시장을 독점 공급하고 있음

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용례

"중국의 국산 극자외선 노력은 작동하는 프로토타입이 보고되었으나 실제 상용화까지는 여전히 수년이 걸릴 것으로 보인다."
"ASML은 EUV 노광 장비의 독점적인 공급 업체로서, 반도체 기술 발전에 중요한 역할을 하고 있습니다."