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DUV (심자외선)

반도체 회로를 미세하게 그리기 위해 필요한 심자외선 노광 기술로 ASML이 독점해온 핵심 공정

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용례

"중국이 ASML이 독점해 온 컴퓨터 칩 공급망의 필수 기술인 심자외선 노광 장비를 자체 개발했다는 보고가 나옴"
"CXMT는 네덜란드 생산자의 심자외선 장비를 확보하여 반도체를 제조함"